全氟丁二烯/C4F6
全氟丁二烯/C4F6作為一種溫室效應(yīng)GWP極低，綠色環(huán)保的高效干蝕刻氣體，具有更快刻蝕速率、更高選擇性和更高精確性，更適合于高深寬比的蝕刻工藝。
初合成出來是作為聚合物的單體，但是其聚合物的性能不佳，沒有得到進(jìn)一步的研究和應(yīng)用。近年對六氟丁二烯的應(yīng)用研究則主要集中在它作為電子蝕刻氣體上。
常見問題
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