一、基本信息

• 中文名：三氟乙酰氟
• 英文名：Trifluoroacetyl fluoride
• 化學(xué)式：CF3COF
• 分子量：116.01400
• CAS登錄號(hào)：354-34-7

• 化學(xué)性質(zhì)

  • 穩(wěn)定性：在常溫下不穩(wěn)定，容易分解
  • 反應(yīng)性：具有高反應(yīng)性和高選擇性，可以在微米級(jí)別上進(jìn)行精確刻蝕

• 應(yīng)用領(lǐng)域

  1. 半導(dǎo)體刻蝕氣體：三氟乙酰氟是一種低GWP值半導(dǎo)體刻蝕氣體，用于制造半導(dǎo)體器件。它具有刻蝕速率快、高深寬比、高選擇性的優(yōu)點(diǎn)，可以實(shí)現(xiàn)近乎垂直的刻蝕加工，為制造小體積、大容量的3D NAND閃存提供了可能。
  2. 制冷劑：三氟乙酰氟是一種潛在的中低溫制冷劑，具有良好的熱力學(xué)性質(zhì)和環(huán)境友好性。它的Ozone Depletion Potential（ODP）和Global Warming Potential（GWP）值都很低，可以替代一些對(duì)臭氧層和全球氣候有害的制冷劑。此外，三氟乙酰氟可與其他組分混合，組成一種低GWP值的制冷劑，使得組合物的GWP≤150，從而滿足碳減排、碳中和的相關(guān)要求。
  3. 其他應(yīng)用：在農(nóng)藥中間體、含氟材料單體等領(lǐng)域也有廣泛的應(yīng)用。